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許多半導(dǎo)體制造時,都是添加石墨粉來提高商品性能,但并不是全部石墨粉都能達(dá)到要求。在半導(dǎo)體的應(yīng)用中,石墨粉通常要考慮純度、粒度、耐熱的規(guī)定。下邊就是說半導(dǎo)體用石墨粉的采用規(guī)定:
1、純度規(guī)定
半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)對石墨粉原料規(guī)定很高,特別是在是兩者之間觸碰的石墨器件,假如雜質(zhì)過多會污染原材料。因此除嚴(yán)格管理石墨原料的純度外,也要經(jīng)高溫將灰度降至很少。
2、粒度分布規(guī)定
半導(dǎo)體工業(yè)級石墨原材料規(guī)定顆粒物度要細(xì),顆粒物度細(xì)的石墨非常容易做到生產(chǎn)加工精密度,且高溫抗壓強(qiáng)度高,耗損小。
3、耐熱規(guī)定
半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)石墨器件,大多數(shù)要開展不斷加溫和制冷,為提升器件的使用期,石墨原材料要在高溫下具備優(yōu)良的可靠性和耐高溫沖擊性性能。
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